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8100系列高精度硅谐振压力传感器

8100系列高精度硅谐振压力传感器

 

8000系列是GE采用世界前沿的TERPS技术而研发出的最新产品。TERPS是沟槽刻蚀硅谐振压力传感器技术,和现有的压力测量技术相比。它可提供更高等级的精度和稳定性。此外,TERPS技术还将压力量程扩展到更高的范围,并通过引入真正的介质隔离结构极大程度地提高了传感器对恶劣环境的适用性。
除了拥有TERPS技术的卓越性能和先进制造工艺外,8000系列产品传感器可为高精度、高稳定性的压力测量提供独一无二的解决方案。